电子显微镜、透射电镜、扫描电镜原理【历史篇】

300多年前，荷兰人Antony van Leeuwenhoek做出来世界上第一台光学显微镜，看见了咱肉眼看不到的神奇景色。咱书上的叶子，用光学显微镜看是这样的，叶子的绿是叶绿体的绿。人呐，能看到这么微观的世界了，满足么，当然不。还想看的更细微，咋看着，光学的衍射极限，只能看到这里了。哎妈呀，衍射不是和波长有关么，有比光子的波长还短的波么？有啊，电子波，电子衍射，和光子衍射没啥原理区别。波短，分辨率高。

电子显微镜，得能发射电子呗，1926年德国物理学家Busch发现用一个旋转磁场就能做电子的“透镜”，你看光学有透镜，电子也有“透镜”，具备了显微镜的聚焦作用1933年，就做了透射显微镜，放大的倍数比光学大几十上百倍，刚才的叶绿体，现在看的多清楚啊。透射电子显微镜，是需要对样品切片，透射过去，咱们照X光一样的。材料厚一点，电子就过不去了，非得切成几十纳米薄的一层，才能给它照“x光片”。咋办涅，咱测反射回来的电子呗，这玩意儿都不需要切片，科学家们发现，在材料表面5~10nm，电子攻击产生二次电子。这样还能分析表面材料呢。

1938年，德国物理学家Van Ardenne在透射电子显微镜的基础上，发明扫描电子显微镜。它是立体的，专业术语叫有“景深”人类的智慧如此无穷，来看看扫描电镜下的石墨烯汇总：扫描电镜，一不需要对材料切片，二可以分析表面材料，三是立体图，四放大倍数高。在咱们行业应用的比较多。