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扫描电子显微镜使用的探针原位电学特性测量装置
来源: | 作者:vpichina | 发布时间: 2021-12-13 | 3668 次浏览 | 分享到:
扫描电子显微镜使用的探针原位电学特性测量装置

摘要
     本实用新型涉及的扫描电子显微镜使用的探针原位电学特性测量装置,包括一个或多个原位电学特性分测量器、电子源、电学性质测试仪器和内装加热器的样品台;所述多个原位电学特性分测器以样品台为中心环绕样品台均匀分布,其结构分别为:一钨探针固定在金属测量杆的一端,金属测量杆另一端套装绝缘套并与三维调节杆相连,一测量导线一端与金属测量杆相连,另一端套装导线绝缘套并穿过真空室与电学性质测试仪器电连接;电子源位于样品台的正上方,之间设置有电磁透镜;可实现对扫描电镜所观察到的微区范围进行直接的电学性质的多功能测试,具有性能可靠,接触良好的、安装简便、结构简单和使用安全的特点,拓展了扫描电镜的功能。
扫描电子显微镜使用的探针原位电学特性测量装置
     一种扫描电子显微镜上使用的探针原位电学特性测量装置,其特征在于,该探针原位电学特性测量装置包括一个或多个原位电学特性分测量器、电子源(12)、电学性质测试仪器(15)和内装加热器(9)的样品台(8);所述原位电学特性分测器的结构为:一钨探针(1)固定在金属测量杆(3)的一端,金属测量杆(3)另一端套装绝缘套(4)并与三维调节杆(5)相连,一测量导线(6)一端与金属测量杆(3)相连,另一端套装导线绝缘套(7)并穿过真空室(11)与电学性质测试仪器(15)电连接;电子源(12)位于样品台(8)的正上方,之间设置有电磁透镜(13)。
详细
介绍

专利号: 200320100222
申请日: 2003年10月10日
公开/公告日:
授权公告日: 2006年1月11日
申请人/专利权人: 中国科学院物理研究所
国家/省市: 北京(11)
邮编: 100080
发明/设计人: 顾长志、窦艳、郭烈阳
代理人: 王凤华
专利代理机构: (11280)
专利代理机构地址: ()
专利类型: 发明
公开号: 0000000
公告日: 2006年1月11日
授权日: 20
公告号: 2751297
优先权:
审批历史:
附图数: 1
页数: 4
权利要求项数: 1