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离子溅射镀膜 和 磁控溅射镀膜的区别
来源: | 作者:vpichina | 发布时间: 2023-02-17 | 246 次浏览 | 分享到:
离子溅射和磁控溅射都是用于在基底上沉积材料薄膜的技术,但它们在几个关键方面存在差异。

离子溅射和磁控溅射都是用于在基底上沉积材料薄膜的技术,但它们在几个关键方面存在差异。


离子溅射是一种物理气相沉积(PVD)技术,涉及用高能离子轰击目标材料,从其表面排放原子。这些排放的原子然后向基底移动并形成薄膜。在离子溅射中,用于轰击目标材料的离子通常是通过低压气体放电或等离子体产生的,并且在相对较低的压力下进行。


磁控溅射则是一种离子化物理气相沉积(IPVD)技术,使用磁场将电子陷阱在目标材料附近。这导致了更高的电离速率和比离子溅射更高的能量效率。在磁控溅射中,磁场用于约束电子,电子离子化室内的气体并产生等离子体。这些等离子体中的离子然后轰击目标材料并形成薄膜。


磁控溅射相对于离子溅射的主要优点之一是,它可以在更高的压力下进行,这允许更高的沉积速率并且可以更有效。由于离子的能量更高并且磁场的存在,磁控溅射也会产生更均匀的薄膜,具有更好的附着力和密度。此外,磁控溅射通常更具通用性,允许沉积更广泛的材料,包括金属、陶瓷甚至一些聚合物。


总之,离子溅射和磁控溅射都是用于沉积薄膜的技术,但由于使用磁场和更高的电离速率,磁控溅射通常在薄膜质量、沉积速率和通用性方面提供更好的结果。