x射线能谱(EDS)或电子能量损失能谱(EELS)。EDS和EELS是用来确定样品元素组成的技术，通过测量x射线或当样品被高能电子束轰击时发射的电子。

场发射扫描电子显微镜(FESEM)

场发射扫描电子显微镜(FESEM)是一种SEM，比传统SEM提供更高的分辨率成像。FESEM的工作原理是将电子束聚焦在样品表面的一小块区域上，并检测从样品发射出的二次电子。二次电子被探测器探测到，探测器将信号转换成图像。FESEM在高真空条件下工作，样品需要导电或涂上导电材料，如金或碳。

FESEM使用场发射电子源，用很小的电子斑产生高强度的电子束。这允许比传统SEM更高的分辨率成像。FESEM的典型分辨率在几纳米到几十纳米之间。

FESEM产生的图像可以提供样品表面形貌、形貌和成分等信息。除了成像，FESEM还可以用于元素分析，使用与SEM类似的能量色散x射线能谱(EDS)或波长色散x射线能谱(WDS)。

SEM、TEM和FESEM的差异

虽然SEM、TEM和FESEM有一些相似之处，但它们在操作原理、分辨率和样品制备要求方面存在差异。SEM提供了多种材料表面的高分辨率图像，而TEM提供了材料微观结构的高分辨率图像。与传统SEM相比，FESEM成像分辨率更高，但仍侧重于表面成像，而不是微观成像。SEM和FESEM的分辨率通常在几个纳米到几十纳米的范围内，而TEM在几十纳米到几个纳米的范围内提供更高的分辨率成像。

两种技术对样品制备的要求也有所不同。SEM和FESEM需要导电或涂层样品，而TEM需要允许电子通过的薄样品。SEM和FESEM的样品制备通常比TEM更耗时，而TEM需要更广泛的样品制备，例如将样品细化到几纳米的厚度。

SEM、TEM和FESEM的应用

SEM、TEM和FESEM的应用广泛而多样，涵盖了材料科学、生物、化学和物理等广泛的领域。SEM通常用于材料的表面成像，包括金属、陶瓷、聚合物和生物材料。它也用于元素分析，使用EDS或WDS。SEM用于冶金、半导体工业和法医科学等多个领域。

TEM用于材料微观结构的高分辨率成像，包括金属、陶瓷、聚合物和生物材料。它也用于元素分析，使用EDS或EELS。TEM广泛应用于材料科学、凝聚态物理和生物学。

FESEM用于材料的高分辨率表面成像，包括金属、陶瓷、聚合物和生物材料。它也用于元素分析，使用EDS或WDS。FESEM通常用于材料科学、半导体工业和纳米技术。