电子显微镜（EM）是一种全面的表征工具，用于探索微观纳米结构。在任何类型的电子显微镜（如SEM、FESEM或TEM）成像之前，都需要对样品进行制备。使用适当的靶材材料对样品表面进行镀膜是获得高分辨率且清晰图像的众所周知的准备步骤之一。VPI提供了各种真空镀膜设备，用于SEM样品的制备。