化学稳定性：金不易与其他物质发生反应，能够长期在恶劣环境中保持性能稳定。

生物相容性：金对生物体无毒无害，适合生物医学领域的应用。

银（Ag）靶材的应用与特性

银靶材在薄膜制备中以其优异的导电性和光学性能而闻名。虽然银相对容易氧化，但其特殊的物理性质仍然使其在许多关键应用中占据重要地位。

银靶材的应用

高反射镜：银具有出色的光反射性，尤其是在可见光波段，其反射率远高于其他金属。因此，银薄膜常用于制造高效的反射镜和光学器件。

导电薄膜：在电气和电子应用中，银薄膜广泛用于制作导电层，例如在触摸屏、电容器和导电胶带中，银的优异导电性确保了器件的高性能。

抗菌涂层：银的抗菌特性使其成为医疗器械和表面涂层的理想选择，能够有效抑制细菌的生长，广泛用于医疗卫生领域。

银靶材的特性

最高的导电性：银是已知金属中导电性最强的材料，这使其成为高导电性应用的首选。

高反射率：银的反射率在可见光范围内非常高，是制作反射镜的理想材料。

易氧化：银在空气中容易形成氧化层，虽然这层氧化银薄膜仍然具有一定的导电性，但在某些应用中可能需要采取措施防止氧化。

铂（Pt）靶材的应用与特性

铂靶材以其卓越的耐腐蚀性、高温稳定性以及催化性能而著称。这些特性使铂成为许多工业和科研应用中不可替代的材料。

铂靶材的应用

高温电极：铂能够在高温下保持稳定且不被腐蚀，因此常用于制造高温环境下的电极，如在电解槽或燃料电池中。

催化剂：铂的表面具有很高的催化活性，广泛应用于汽车尾气净化器、化学反应器以及燃料电池中，起到加速化学反应的作用。

传感器：铂薄膜由于其稳定的电阻率和高温稳定性，在温度传感器中得到了广泛应用。

铂靶材的特性

耐腐蚀性：铂能够抵抗大多数化学物质的腐蚀，适合用于极端环境中。

高温稳定性：铂在高温下仍能保持优异的物理和化学性质，不易发生氧化或变质。

催化活性：铂具有极高的催化活性，特别是在氧化还原反应中表现突出。

金钯（Au/Pd）靶材的应用与特性

金钯靶材是一种合金靶材，结合了金和钯的优异特性，具有高导电性、耐腐蚀性和良好的机械性能。它在高要求的电子器件和传感器中得到了广泛应用。

金钯靶材的应用

高可靠性电接触：金钯合金由于其良好的导电性和耐磨性，常用于制造高可靠性的电接触材料，如连接器、开关和继电器中的接触点。