在使用VPI的高真空磁控溅射镀膜仪中，靶材需要背板以确保溅射过程的稳定性和效率。背板的主要作用包括增强热传导，防止靶材过热，以及固定靶材，延长其使用寿命。背板材料的选择需考虑热传导性能、机械强度及与靶材的热膨胀系数匹配。常用的背板材料有无氧铜、不锈钢、钼等。靶材与背板的结合方式包括扩散键合、焊料键合和弹性体键合等。正确选择背板材料和键合方式能提高溅射过程的稳定性和效率，延长靶材使用寿命，降低生产成本。VPI致力于为客户提供最优质的溅射解决方案。