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​VPI SD-650MHT高真空 双靶 磁控溅射系统 成功部署于 黑龙江科技大学 材料科学实验室
来源: | 作者:VPI_赵工 | 发布时间: 2025-12-20 | 94 次浏览 | 分享到:
​VPI SD-650MHT高真空 双靶 磁控溅射系统 成功部署于 黑龙江科技大学 材料科学实验室

VPI的真空镀膜设备聚焦磁控溅射等物理气相沉积(PVD)技术,具有抽真空速度快、镀膜环境稳定等突出优势。高真空系列产品支持直流和射频两种溅射模式,可沉积金属、半导体、陶瓷绝缘体等各类薄膜材料,满足不同研究需求。同时,仪器在人性化设计方面表现出色,操作界面友好直观,便于用户快速上手。这些技术和服务方面的优势,使VPI设备成为高校科研用户追求高效薄膜制备的理想选择。


黑龙江科技大学材料科学实验室主要服务于材料学院的教学和科研工作,薄膜材料沉积是其关注的重点方向之一。通过引入VPI的薄膜沉积设备,师生可以在校内自主完成各种功能薄膜(如导电薄膜、光学涂层等)的制备实验,不仅加强相关课程的教学环节,还能为研究项目提供可靠的实验支持。引入设备后,实验室能够在内部完成高质量薄膜沉积,减少对外部设备的依赖,加快科研进程。基于上述需求,黑龙江科大材料团队经过调研考察,最终选择与VPI合作,引进一台高真空双靶磁控溅射镀膜系统(型号SD-650MH)来升级实验室的科研条件。

 

VPI工程师团队针对本次项目提供了“一站式”现场服务,从前期沟通到最终验收每个环节都精心规划、严格执行。

 

需求沟通与现场勘察: VPI派出经验丰富的工程师前往黑龙江科大实验室实地安装,按照约定时间,SD-650MH设备安全运抵校园。VPI工程师协同校方工作人员进行开箱验收,小心拆卸包装并检查各部件清单,确保设备运输无损且配件齐全。

 

根据实验室布局和预先方案,工程师将真空腔体、支架及各模块组件逐一就位安装。团队认真连接了真空泵组、溅射靶枪、电源线缆和控制系统等,确保每个接口稳固可靠。整个装配过程井然有序,用时短且安全规范。

 

完成硬件安装后,VPI工程师立即对设备进行全面调试。首先对真空系统抽空至极限真空,检验腔体的气密性;随后测试磁控溅射放电,在不同功率下观察等离子体状态并优化气压与功率参数,确保等离子体放电过程稳定可控。经过一系列反复测试和参数优化,设备各项性能指标均达到设计要求。

 

系统运行稳定后,VPI工程师现场为实验室教师和学生开展操作培训。培训内容涵盖了镀膜系统的原理讲解、软件界面的功能演示、工艺参数的设定方法以及安全规范要点等。工程师手把手指导用户进行开机、靶材更换、真空抽排、溅射沉积等实际操作,使老师、学员亲身实践每个步骤。在互动问答环节,用户的疑问都得到详细解答。经过半天的培训与练习,实验室老师和研究生们已基本掌握设备的使用要领,能够独立完成简单镀膜实验。

 

培训完成并试镀成功后,VPI协同用户对整机进行了最终验收。双方根据合同指标逐项对照检查,确认真空度、沉积速率、膜厚均匀性等均符合要求。验收合格后,设备正式交付用户投入使用。至此,从最初沟通到正式运行的全过程在短时间内顺利完成,黑龙江科大材料实验室成功拥有了一套功能强大的磁控溅射薄膜沉积平台。


本次交付的SD-650MH高真空双靶磁控溅射镀膜系统是VPI面向高校科研推出的一款旗舰产品。该系统专为多材料薄膜制备而设计,兼具高真空环境和多功能溅射能力,能够满足材料科学领域多样化的研发需求。仪器由真空腔室、磁控溅射靶源(双靶位)、旋转样品台、抽真空泵组、真空测量仪表、溅射电源和智能控制系统等部分组成。通过模块化集成设计,SD-650MH既保证了系统的稳定性,又方便日常操作和维护。

 

该设备的主要特点:

高真空:配备机械泵+分子泵真空系统,可将腔体抽至10⁻⁵Pa量级的极高真空,提供洁净稳定的镀膜环境,有效提升薄膜质量。

双靶溅射:配置两个直径50mm的磁控溅射靶位,可安装不同材料的靶材,实现无需破真空连续沉积多层薄膜的工艺,大幅提高实验效率。

直流/射频兼容:同时配备可独立控制的直流和射频溅射电源,直流溅射功率可达1000W,射频溅射功率可达300W。该配置使设备能兼容导电金属、半导体以及绝缘陶瓷等各类靶材,充分满足导体与非导体薄膜沉积需求。

均匀沉积:内置可旋转样品台,支持样品加热和旋转,从工艺上提高薄膜厚度均匀性,并有助于靶材的均匀消耗,确保大面积基片上获得一致膜厚。对于要求高均匀性的光学膜或功能涂层,设备能够提供出色的膜厚一致性。

精准控制:等离子体放电过程稳定可控,沉积速率精确可调,膜厚控制精度高。用户可以通过控制软件精确设定溅射时间和功率,实现对薄膜厚度的精密控制,保证实验结果的可重复性。

友好操作:采用智能化的触摸屏控制界面与自动化控制程序,界面信息直观清晰,各项参数设置简便。设备配有多重安全联锁和状态提示功能,新用户也能轻松上手,在保障安全的同时提高了操作效率。

 

实验室负责人反馈,VPI工程师提供的培训高效细致,通过现场实操和指导,帮助团队迅速建立了对新设备的操作信心。如今,师生们已经能够独立使用该系统开展日常的教学实验和基础研究工作,他们对设备的各方面表现都非常满意,并对VPI团队的专业服务给予了由衷肯定。


设备验收交付并投入使用后,VPI依然持续为用户保驾护航。公司承诺提供完善的售后服务,包括远程技术答疑和指导、定期设备巡检和保养,以及根据用户需求进行软件升级和功能扩展等支持。黑龙江科大实验室在使用中遇到任何技术问题,都可以通过线上或电话及时联系VPI工程师团队,获得专业的解决方案。此外,VPI会不定期回访了解设备运行情况,帮助用户进行必要的维护校准,确保仪器始终保持最佳工作状态。