SD-650MHT溅射镀膜仪采用了先进的机械设计和精密的控制系统，具备极高的真空度和稳定的气体控制能力。其核心组件包括旋转真空泵和涡轮分子泵组合，能迅速达到极限真空度5×10^-5Pa，确保镀膜过程的高效和稳定。此外，仪器配备了直径260mm，高度200mm的金属腔体，能够容纳更大尺寸的样品，满足各种实验需求。