高真空磁控溅射镀膜仪 (直流 / 射频)

型号：SD-650MH

VPI博远微纳 提供高真空磁控溅射镀膜仪 (直流/射频型号)，是理想的、专为材料科学和样品制备设计的镀膜仪器。广泛用于广大高校和材料科学与工程科研院所的镀膜科研相关项目，可用于溅射金属、非金属、陶瓷、半导体、绝缘体或其他各类膜材料、氧化物等的薄膜制备。

高真空磁控溅射镀膜仪提供了最稳定的溅射环境，在极短的时间内就达到了磁控溅射的基本实验条件。它提供了DC / RF两种溅射电源选项，允许在试样上溅射导电或非导电物质，并提高了物理气相沉积(PVD)性能。它也非常适用于表面处理和涂层。它操作简单，使用方便。

包括真空泵和冷水机。