一、注意事项 

真空设备用油在密封条件下保质期可以达到三年；  

油品应存放阴凉干燥处；  

油桶打开使用后，剩余的油应盖好密封盖，同时尽快用完剩余的部分，切勿混入其他粉末和液体杂质；  

环境工具应保持干净，若用溶剂清洗后应烘干使用； 

根据真空泵的结构精度和使用环境，应选用相应精度品质的油品。  

二、换油方法 

换油最好在油温升高后进行。对泵严禁用煤油、汽油、酒精等作非拆的清洗。平时也要注意保护进气口，检查滤网，防止灰尘、杂质进入泵内，弄污泵油，损坏真空室。  

如果扩散泵太脏或者油变质，都将延长达到正常工作真空度的时间，极限真空度也会恶化。这时必须清洗和换油，其步骤大致如下：

(1)拆下扩散泵，取出喷咀系统，尽可能将它拆成单个零件。

(2)倒出被氧化或劣化了的油(呈褐色)。

(3)用石油醚或四氯化碳清洗喷咀系统各零件及扩散泵内壁。若油垢清洗不下来可用金属擦膏，仔细擦净(注意勿损坏金属喷口)。泵上方的水冷挡板也应洗净。

(4)装入干净的扩散泵油。注意油量一定要合适(根据说明书)，太多或太少都会影咆抽气速率。

(5)重新把扩散泵装配起来。

换炉丝

扩散泵长期使用，其加热器(电炉丝)变细，阻值增大，抽气速率也会下降，这时妊须换上功率相等的合适的炉丝。

若扩散泵加热器电源电压下降，也会降低排气效率，应设法保证一定的电源电压值。

三、真空泵换油后产生问题排除方法 

泵出气口有喷油现象： 油加的过多，减少油的加入量。  进气口长时间抽大气，应加以避免。  

泵出气口有雾现象：检查进气口及其他部分是否有漏气 。  

真空度偏低： 泵腔内及油中是否混入其他轻质液体，新换油后应适当运转一段时间；检查泵各密封部分是否有漏气现象；校对好检测仪表。  

扩散泵 、油增压泵换油注意事项：

选用品质好的油品；换油时应全部倒出旧油；用溶剂汽油或专用清洗剂清洗泵内全部零件，并用丙酮或乙谜擦干，放在烤箱中烘干，也可用吹风机吹干；按原来部位安装好泵内外零件，喷嘴应在泵腔中部； 操作者应手戴白纱脱脂手套装配，按要求量倒入扩散泵油或增压泵油。  

扩散泵使用中产生的问题及排除方法：