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如何用VPI公司的900M型磁控溅射镀膜机制备SEM样品
来源: | 作者:vpichina | 发布时间: 2023-03-11 | 944 次浏览 | 分享到:
市场上有几种类型的溅射镀膜机,但VPI的900M型磁控溅射镀膜机是最高效和用户友好的之一。本文将详细介绍如何使用900M型磁控溅射镀膜机制备SEM样品,以及为什么与其他镀膜机相比,它是最好的。

第二步:设置涂层参数

下一步是使用镀膜仪的操作面板设置电压、电流强度。900M型涂布机可以方便地调整这些参数,确保涂布均匀。

步骤3:抽气室

在开始涂布工序之前,必须先对腔室进行抽气,清除任何残留气体。这是通过激活涂布机的真空系统来完成的,该系统将空气抽出腔室,并创造一个低压环境。

第四步:开始涂布过程

一旦密室被清空,涂层过程就可以开始了。这是通过激活涂布机的磁控管源来完成的,它会产生电离气体的等离子体。这种等离子体被用来将目标材料上的原子溅射到样品表面,形成一层薄而均匀的涂层。

第五步:监测涂覆过程

在涂装过程中,对涂装的厚度和均匀性进行监控是必不可少的。这可以使用各种技术来完成,包括原位监测或涂层后测量。

第六步:停止涂层过程

一旦达到所需的涂层厚度,可以通过停用涂布机的磁控管源来停止涂布过程。然后可以使用真空系统将空气泵回腔室,样品就可以从涂布机的阶段中移除。

 

结论

综上所述,VPI的型号900M磁控溅射镀膜器是一种高效和方便用户的SEM样品制备工具。该涂布机可以生产均匀且可重复的涂层,其多功能性使其适用于各种样品尺寸和形状。通过遵循本文概述的简单步骤,用户可以制备适合成像和分析的高质量SEM样品。

与市场上的其他溅射涂层相比,型号900M由于其性能、易用性和多功能性,是最好的之一。其他溅射涂层可能更专业或提供不同的功能,但型号900M是需要可靠和多功能溅射涂层的用户的一个很好的选择。