博远微朗 - Vision Precision Instruments

咨询电话:010 - 8071 0093
VPI Applications
案例中心
电子显微镜(SEM/FESEM/TEM)样品制备与靶材选择(高真空与低真空镀膜仪)的应用区别
来源: | 作者:VPI_LXJ | 发布时间: 2025-02-24 | 123 次浏览 | 分享到:
电子显微镜(EM)是探索微观/纳米结构的重要工具。为了确保样品在不同类型的电子显微镜下呈现出高分辨率和清晰的图像,需要在样品表面进行导电薄膜的制备。薄膜的靶材制备和选择直接影响成像质量,因此了解不同材料(靶材)的特性和适用场景非常重要。


电子显微镜类型与放大倍数

不同类型的电子显微镜适用于不同的放大倍数范围和应用场景,如下:

  • 扫描电子显微镜(SEM)
         SEM适用于中等至高放大倍率的成像,通常可以达到0倍到500,000倍的放大倍数。它用于观察样品的表面结构和形态,尤其适合较大样品和表面特征的分析。


  • 场发射扫描电子显微镜(FESEM)
         FESEM是一种高分辨率的扫描电子显微镜,适用于放大倍率从500,000倍到2,000,000倍。FESEM采用场发射电子源,能够提供更细腻的表面细节和更高的分辨率,特别适合观察纳米级别的细节。


  • 透射电子显微镜(TEM)
         TEM适用于高分辨率的薄膜和材料内部结构分析,放大倍数通常在100,000倍到10,000,000倍之间。TEM能够提供非常高的分辨率,适用于纳米级别的细节分析。


VPI的溅射镀膜仪:为高分辨率电子显微镜成像提供支持

在电子显微镜样品的制备过程中,选择合适的溅射镀膜系统非常重要。VPI的SD-900M磁控溅射镀膜仪和SD-650MH高真空磁控溅射镀膜仪能够提供高质量的薄膜涂层,确保电子显微镜下的成像效果。

  • SD-900M磁控溅射镀膜仪:此设备适用于快速沉积金、银、铂、钯靶的导电涂层溅射,能够满足SEM和FESEM样品的样品制备需求,提供均匀的薄膜,确保高分辨率图像。


  • SD-650MH高真空磁控溅射镀膜仪:该系统适合在高真空环境下进行精细的涂层沉积,能够提供更高质量的薄膜,非常适合用于需要高纯度和均匀涂层的样品,尤其是在TEM分析、材料科学、半导体、生物化学、电池研究中具有优势。


合适的涂层材料和溅射镀膜技术选择对于电子显微镜成像至关重要。金、铂、钯等材料因其优异的电导性和适合高分辨率成像的特性,广泛用于电子显微镜样品的准备。VPI的SD-900M磁控溅射镀膜仪和SD-650MH高真空磁控溅射镀膜仪提供了高质量的涂层解决方案,确保您的样品准备符合不同电子显微镜分析的需求,并提供最佳的成像效果。