在日常技术支持中，用户经常问我们：“金靶或铂靶用了多久需要更换？”作为 VPI 应用工程师，我们的建议是：不要只看使用时间或溅射次数，应以靶材的侵蚀状态和剩余厚度为主要依据。或者可以参考今天的分享哈~
简单来说：看靶面、测厚度、查速率、看放电。出现穿孔或背板暴露时必须更换；沉积变慢或放电不稳时，应结合设备状态综合判断。
注意：更换靶材前，请关闭溅射电源！待设备安全停机、放气并充分冷却后再操作。由于不同 VPI 型号的靶头结构、靶材尺寸和冷却方式不同，如无法判断，建议将设备型号、靶面照片和近期工艺参数提供给 VPI 应用工程师进行确认。
