博远微朗 - Vision Precision Instruments

咨询电话:010 - 8071 0093
VPI Applications
案例中心
VPI真空镀膜技术 应用案例白皮书
来源:VPI知识库 | 作者:VPI_LXJ | 发布时间: 2025-04-09 | 228 次浏览 | 分享到:
VPI是专注材料科学样品制备和真空镀膜系统的高科技企业,为全球多家高校、科研机构和企业提供真空镀膜设备与解决方案。某高校科研团队需在特殊基底上制备微米级厚度的某导电性极好的贵金属纯薄膜,但面临附着力不足、膜层氧化变色和厚度不均匀三大难题。VPI团队制定专项技术攻关计划,提出定制化解决方案,包括升级靶材尺寸与功率密度、采用旋转柱状样品台、优化工艺参数防氧化等。经理论计算与实验验证,该方案有效解决问题。技术分析表明,方案基于溅射工艺理论和实践经验,从多环节优化。实施后科研团队获高质量厚膜,膜层质量、附着力和稳定性提升,性能满足应用需求,客户满意度高,巩固了双方合作。此案例展示了VPI在高难度薄膜制备任务中的实力和服务水准,其产品体系完善,能满足不同需求。

 

【效果】

经过上述方案实施,科研团队最终成功获得了满足各项指标的高质量厚膜,其性能与预期目标高度一致:

  • 膜层质量显著提升: 镀制的膜在整个锥形基片表面均呈现出连续均匀的亮色金属光泽,无肉眼可见的发黑或颜色不均现象。经实际测量,膜层厚度平均约为1.2 μm,各部位厚度偏差控制在5%以内,远优于原方案下超过20%的不均匀性。薄膜横截面SEM照片显示,膜致密无明显孔洞,晶粒组织紧凑,贴附于基底表面且界面清晰平直,证明了优异的致密度和附着力。

  • 附着力和稳定性: 采用百格测试(Cross-cut Tape Test)对膜附着力进行评价,结果100格切割区域内膜无大片脱落,只有极少量边角剥落,达到了国际通用标准中最优等级。这表明膜与基底结合牢固,可耐受后续制备工艺或应用过程中的机械应力。此外,将镀膜样品暴露于空气中放置数周,膜仍保持光亮,未出现明显变色,体现了良好的抗氧化稳定性。由此可见,本方案制备的膜在环境稳定性上也大大改善,为后续实验应用提供了保障。

  • 性能满足应用需求: 由于膜质量的提升,客户团队后续在该膜层上进行的光学反射和电学导通测试均获得了理想结果。薄膜电阻率接近于块体的理论值,说明膜层纯净且致密;光谱反射率测量显示在可见光波段反射率超过95%,证明膜面平滑致密且没有氧化物导致的散射损失。这些性能指标满足了课题对高反射电导薄膜的要求,为深入研究提供了可靠的样品基础。用户反馈该膜在后续制备光学器件时表现出出色的稳定性,没有出现脱膜或性能衰减问题。

  • 客户满意度与合作深化: 通过此次技术攻关,VPI工程团队展现了高超的专业水平和服务能力,赢得了客户的高度评价。该高校科研团队表示:“VPI提供的不仅是一台设备,更是一套完整的解决方案和出色的技术支持,使我们能够顺利实现项目目标。” 在问题解决过程中,VPI工程师的耐心沟通和快速响应也给客户留下深刻印象。这次成功案例进一步巩固了VPI与客户之间的信任合作,为后续其他材料镀膜项目的合作奠定了基础。

 

综合而言,解决方案实施后的效果完全达到了预期:膜厚度、附着力和光亮度三大指标全面达标,科研团队的技术难题迎刃而解。这充分验证了VPI真空镀膜设备的性能优势和定制服务能力。

 

本案例充分展示了VPI品牌真空镀膜仪在高难度薄膜制备任务中的专业实力和服务水准。面对微米级厚膜这一复杂挑战,VPI团队以丰富的行业经验为依托,综合运用磁控与直流溅射技术原理,通过设备改装和工艺优化实现了一套量身定制的镀膜解决方案。从问题诊断、方案论证到实验验证直至最终成功,VPI体现出的不仅是对真空溅射工艺的深刻理解,更是对客户需求的高度重视和快速响应。这正印证了VPI自创立以来秉持的核心理念——