镀膜完成后，对钛膜的多项质量指标进行了检测，以评估工艺效果：

膜厚测量：使用精密台阶仪测量膜层厚度，或利用X射线荧光光谱仪（XRF）无损测试薄膜平均厚度。结果显示膜厚接近3μm，测量误差在±3%以内。

附着力测试：采用划痕法（Scratch Test）评估膜-基结合力，用逐渐增大的载荷尖端划破膜层，记录膜层开始剥离的临界载荷。钛膜在铜基底上的临界载荷超过25 N，表明膜层附着力优异。

膜层均匀性分析：对镀膜后的工件进行截面取样，使用扫描电子显微镜（SEM）观察并测量膜层厚度的均匀性。多点截面测厚结果表明，膜厚分布均匀，厚度波动在±3%左右，与工艺设计预期相符。

以上检测结果表明，经过SD-650MH磁控溅射工艺沉积的钛膜在厚度、附着力和均匀性方面都达到了高要求标准。这验证了工艺参数选择的合理性，以及设备控制的精确可靠。

应用场景

经过本次工艺验证，3μm钛膜在铜件表面的成功制备及其优异性能，意味着该技术方案可推广应用于多个高要求领域，包括但不限于：

精密电子元件：如射频连接器、微波器件、印制电路板上的铜导体等。这些器件往往对膜厚均匀性和表面阻抗有严苛要求。钛膜作为导电铜上的阻挡层或保护层，既能防止铜在空气中氧化，又可通过控制厚度达到所需的阻抗匹配。本工艺提供的高均匀性薄膜非常适合此类精密电子应用。

电化学设备：例如锂电池的铜集流体、电解池阳极铜板等。在腐蚀性电解质环境中，纯铜表面容易发生电化学腐蚀，而镀上一层致密钛膜后，可大幅提高其抗腐蚀能力。钛具有优异的耐酸碱腐蚀性能且本身导电性良好，薄膜钛层可以保护铜基体不被电解液侵蚀，同时保持电接触性能。因此，本技术在电池材料和电化学工程中具有潜在应用价值。

海洋防腐领域：针对海洋环境中的铜合金构件（如海水热交换器、船舶铜螺旋桨或管路等），钛膜提供了一道可靠的防腐屏障。海水中的氯离子对铜腐蚀性很强，而钛在海水中几乎不受腐蚀。给铜部件表面镀钛可以显著延长其在海水中的使用寿命，减少维护频率。实际应用中已有类似做法，例如在铜设备上爆炸焊接钛板形成覆层，来兼顾铜的机械强度和钛的抗腐蚀性。相比之下，磁控溅射钛膜属于更精细的表面工程手段，适用于复杂形状和精密部件的防护。