博远微朗 - Vision Precision Instruments

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关于我们
质量保证    技术领先

博远微纳科技有限公司(现更名为博远微朗)创立于2004年,是中国区首家专注于样品制备、真空镀膜和电镜耗材销售的一站式综合服务提供商。我们致力于研发、生产和销售相关真空镀膜系统及耗材产品,为客户提供一站式解决方案。


博远微朗的产品线主要包括样品制备仪器、真空镀膜系统以及电镜配套耗材。我们的样品制备设备用于制备各类材料薄膜样品,以满足科学研究、材料表征和半导体、电子元器件制造等领域的需求。真空镀膜设备则用于在样品表面形成薄膜涂层,提供保护和改善样品性能的解决方案。此外,我们还提供电镜配套耗材,包括标本支架、导电胶带、碳绳、溅射靶材、金属膜等,以满足电子显微镜操作和真空系统的使用。


博远微朗以为客户创造价值为核心理念,始终关注客户需求。多年来,我们已经与超过2000所大学、院校、研究中心和企业等商业客户建立了合作关系(截至2022年底,累计销售超过3000台各型号真空镀膜仪),并提供高品质的样品制备、真空镀膜设备和电镜配套耗材。博远微朗凭借其专业团队和优质产品在行业内树立了良好的声誉,并致力于为客户提供卓越的技术支持和售后服务。

全球溅射仪 系列产品 领导品牌

高真空磁控溅射镀膜机 (DC / RF型号)

脉冲热蒸发碳涂层机 (SD-980型号)

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VPI博远微纳 提供高真空磁控溅射镀膜仪专为材料科学和样品制备的镀膜仪器。可用于溅射金属、非金属、陶瓷、半导体、绝缘体或其他各类膜材料、氧化物等的制备。

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VPI博远微纳 提供一种自动脉冲热蒸发碳涂层机(SD-980型号),是理想的,设计用于实验室SEM样品碳膜制备的脉冲式碳膜仪。

磁控溅射镀膜机 (SD - 900M型号)

VPI博远微纳 提供磁控溅射镀膜机(SD-900M)号被广泛用于涂覆非导电或热敏的SEM样品金、银、铂,以获得更好的成像效果。它也非常适合于针对表面处理的损伤。

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应用案例
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APPLICATIONS
  • 相同材料下,磁控溅射镀膜仪 VS 热蒸发镀膜仪,哪种方案适合我?

    2025-03-14

    磁控溅射和热蒸发是物理气相沉积领域常用的薄膜制备技术,在半导体和光学领域各有所长。李工结合VPI公司的SD - 650MH磁控溅射镀膜仪和SD - 100AF高真空热蒸发镀膜仪分析两者不同及选择方法。磁控溅射利用高能离子轰击靶材形成薄膜,薄膜质量高、致密性和附着力强,适合高熔点材料及合金化合物,VPI的SD - 650MH适用于高精度应用;热蒸发通过高温加热材料气化凝结成膜,工艺简单、沉积速度快、成本低,适合单一常规金属膜,VPI的SD - 100AF适合实验室快速试制。在半导体领域,磁控溅射是现代芯片制造主流,热蒸发用于实验室器件原型电极快速制备;光学领域,热蒸发适用于大批量低成本元件,磁控溅射用于高性能元件。若要求薄膜致密度高、附着力强选磁控溅射,追求快速镀膜和成本效益选热蒸发,敏感样品需分别讨论。科研人员和工程师应依实际需求选合适镀膜技术,VPI相关设备已成功应用,可联系技术应用工程师。

  • 电子显微镜(SEM/FESEM/TEM)样品制备与靶材选择(高真空与低真空镀膜仪)的应用区别

    2025-02-24

    电子显微镜(EM)是探索微观/纳米结构的重要工具。为了确保样品在不同类型的电子显微镜下呈现出高分辨率和清晰的图像,需要在样品表面进行导电薄膜的制备。薄膜的靶材制备和选择直接影响成像质量,因此了解不同材料(靶材)的特性和适用场景非常重要。

  • 电磁流量阀(Em) VS 气体质量流量控制器(MFC):如何选择?

    2025-02-11

    在高真空溅射镀膜设备中,控制气体流量对工艺稳定性至关重要,常见气体流量控制设备有电磁流量阀和气体质量流量控制器。电磁流量阀基于电磁铁控制阀门开关,可通过PWM简单调节流量但精度低,其结构简单、成本低、适用于快速开关控制、维护方便且寿命长,但不能精确调节流量、稳定性差、受环境影响大,适用于简单开/关控制的气路系统、预抽真空粗略控制气体进入等对流量精度要求不高的场景。气体质量流量控制器通过热式流量传感器或压差测量技术结合电子反馈控制实现对气体质量流量精准调节,不受温度压力变化影响,精度高、能稳定控制流量、适用于多种工艺气体、受环境影响小,但成本高、需定期校准,适用于高真空溅射镀膜、半导体制造、气体分析仪器等对气体流量要求严格的场景。选择时,若只需简单开/关控制、预算有限且对流量精度要求不高,可选择电磁流量阀;若需精确控制气体流量、适用于高真空镀膜工艺,则应选气体质量流量控制器,在高真空溅射镀膜设备中,气体质量流量控制器有时必不可少,选购或升级镀膜设备可咨询VPI技术工程师获取合适方案

  • 春节快乐!VPI与您共启蛇年新篇章!

    2025-01-26

    春节快乐!VPI与您共启蛇年新篇章!